参数特征
① 炉室直径1400/1600mm
② 副室高度5500mm(可增加1.6米延长室)
③ 喉口直径350-410mm(可定制)
④ 坩埚总行程650/800mm;坩埚尺寸最大兼容至40吋
⑤ 投料量800-1000KG
⑥ 设备自重:12t
设计优点
① 下轴承载设计利于大尺寸热场使用;
② 不同线径钨丝绳切换灵活,专利设计可降低机构自重并提升晶绳使用寿命;
③ 具备更可靠的防爆泄压口设计;
④ 采用高强度机架,长期运行变形小;
⑤ 水冷热屏单独供水提升单晶生长速度;
⑥ 采用西门子PLC控制系统,稳定可靠;
⑦ 智能视觉系统自动监测硅料融化情况,调温时间大大降低,关键工艺环节晶体直径自动测量及控制;
⑧ 理论并网240台+设备对其进行远程监控,各类功能强大、灵活 ;
⑨ 使用CGSIM软件对热场进行模拟分析及优化;
交付周期
① 标准化产品:预付款到账后60天陆续交货,根据库存及所需数量可考虑加急;标准定价
② 定制化产品:视定制内容,一般预付款到账后90天陆续交货;根据成本定价