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单晶硅方棒全自动高效磨床LT-GMS950
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单晶硅方棒全自动高效磨床LT-GMS950

型号:MFAL2395
类目:硅片设备
研发:线切事业部
详细介绍

参数特征

① 加工棒料长度150~~950mm

② 加工棒料截面边长166~210mm

③ 砂轮规格280X38.1X60mm

④ 主轴转速>3500r/min (工作磨削转速)

⑤ 磨削加工精座尺寸误差≤士0.03mm

⑥ 平面度s0.02mm

⑦ 四平面相邻面夹角90°士0.05°

⑧ 表面粗糙度Ra0.10um;

⑨ 弧面:Ra0.20um(单品)

⑩ 装料高度1000mm (距底平面)

⑪ 床外形尺寸5400x2960x2350mm

⑫ 机床总功率38kW

⑬ 设备自重12.5t


设计优点

① 兼容作为独立加工设备及工厂自动化加工单元需求

② 加工规格166~210一键转换,兼容182x210矩形棒

③ 预压式动、静浮动夹头专利技术,具有稳定的定夹精座及硅棒异常端面斜的纠偏能力;

④ 夹具分度精度0.01度,具有失电防脱落功能;

⑤ 上料定位装置专利技术,适应不同规格方棒及矩形棒的自动精准定心;

⑥ 具有高精度硅棒在线检测及误差,磨耗自动补偿功能;

⑦ 独具的定夹方式对开方后的异型棒及硅棒返修具有可靠的适应能力;8、设备具有高精度,高刚性,稳定性及良好综合性能使其具有高效的加工能力。