参数特征
① 过程控制：品牌PLC自动控制，设备自动处理
② MTBF：＞500H
③ MTTR：＜2H
④ 设备噪音：≤65 dB
⑤ 挂载能力：≤200KG运行，(3套机械手)
⑥ 设备方向：“右进左出”以人正对设备操作面为参考方向“左进右出”以人正对设备操作面为参考方向
⑦ 最大提升重量：≤150KG㎏
⑧ 生产时间：三班制（注：一天工作24H/天，330天/年）
⑨ 产能：＜5分钟/根棒
⑩ 节拍：＜5min/批（用户自定，可调）
⑪ 适应晶棒：兼容4~8寸的各种晶托
⑫ 适应尺寸：各槽体尺寸：满足900mm晶棒（含铁板、鸠尾座）放入槽体运行
⑬ 外形尺寸：L10000×W2500×H2700
设计优点
① 上下料：手动拖车上料、自动下料
② 上料小车：小车底部有不锈钢接液盘。
③ 脱胶工装：免插隔板是脱胶工装，兼容□166-230mm、L=850~1000mm硅棒。
④ 釜川最新设备机械手
⑤ 轻薄、结构简单、维护方便
⑥ 高精度伺服，定位更精准
⑦ 一体式机械压篮检测，稳定可靠
⑧ 横移采用高精度直线导轨滑块，运行平稳。
⑨ 采用上中层气缸驱动喷淋摆动设计（45度可调），下层固定角度喷淋，喷淋清洗更彻底。
⑩ 液位开关计量，补液精度±5％
⑪ 自动下料槽
带来利处
① 主要功能：对切片后的硅片进行脱胶
② 超大产能：10棒/小时
③ 设备稼动率高：DN50超大进液管径，DN80超大排液管径，1500L超大喷淋储水槽
④ 保护功能全：机械手压篮保护，多重加热保护机制
⑤ 自动化程度高：UPTIME ≥98%，人工上料，自动出料，清洗分选无缝对接
⑥ 摆动喷淋结构，清洗更彻底
⑦ 占地面积小：8120*3200*2,750mm（L*W*H），相比同行业设备总宽度窄8%
交付周期
① 新机台订单到交货：60天；
② 现场安装调试达产：4天/台2人
