参数特征
① 主机外形尺寸：15100mm×2600mm×3000mm（L×W×H）
② 上料花篮：18 个/台
③ 上下料小车：3 个/台
④ 硅料种类：单晶边皮料、棒料、块料及头尾料
⑤ 硅料尺寸：单晶边皮料： 长 850mm （ max）单晶块料： 8x8~100xl00mm单晶棒料： φ310x400mm
⑥ 上下料方式：自动上下料
⑦ 清洗节拍：≤5 分钟/框（用户自定，可调）
⑧ 机械手额定负载：＞80kg
⑨ 设备开机率：≥98% （设备开机率=月设备正常运行时间/当月计划开机时间）
⑩ 清洗机质量：硅料表面洁净无杂质，表面没有肉眼可见的污渍，无酸残留
⑪ 电 源：3 相 5 线 380VAC 50Hz
⑫ 整机总功率：约 170Kw
设计优点
① 料篮移动采用龙门小车平移，机械手顶部移动，传动机构外置避免腐蚀，升降轴机顶用风琴罩隔开
② 转篮设计大于90kg/框，清洗节拍，3-5分钟/框
③ 采用真空干燥
④ HF+HN03放热采用后部冷却循环槽冷却，试剂采用磁致伸缩补液桶进行配补液操作
⑤ 上下料小车采用气动拉钩及导向板定位，每个小车上放置三个转篮。
⑥ 转篮外径400mm长1200mm，可容纳>90kg.硅料。
⑦ 水下潜送；
⑧ 纯水漂洗加热85℃；
⑨ 烘干采用螺杆正空泵进行抽真空，配备压力感应，水冷电机及螺杆真空机，通过多通道球阀切换真空及进行破真空；
⑩ 槽内设置辐射式加热管进行加热，加热功率18kw
⑪ 底部设置吹扫管进行转篮底部吹扫；
带来利处
① 本设备为全自动机械手搬运，采用滚动提篮清洗方式，可对多种 硅料（块状、片状） 腐蚀清洗处理。具备HF+HN03混合酸液腐蚀清洗和试剂（弱 酸） 浸泡清洗两种工艺清洗功能。保证溶液及硅料不与任何金属接触；
交付周期
① 交付：新机台订单到交货：60天；
② 现场安装调试达产：4天/台2人
