参数特征
①型号:CG6000;
②炉室内径:φ762mm;
③副室平开门尺寸:宽310mm,高1730mm ;
④喉口直径: φ305mm ;
⑤籽晶提升速度:0~508mm/hr or ± 0.51mm/hr,两者取其大;
⑥籽晶提升快速(标称):400mm/min
⑦籽晶转速及精确值:0~50 RPM±1%S.P, or ±0.05RPM,两者取其大;
⑧坩埚提升速度及精确值:0-127 mm/hr ± 1% S.P, or ± 0.25 mm/hr,两者取其大;
⑨坩埚提升快速(标称):127mm/min
⑩坩埚转速及精确值:0-30 RPM ± 1% S.P , or± 0.03 RPM ,两者取其大;
⑪电源类型:IGBT,可选配带谐波治理功能;
⑫过滤罐:普通型(可选自清洁型);
⑬主泵:油泵(可变频),副泵:油泵
⑭可拉晶体直径: 6 ~ 8英寸;
⑮可拉晶体类型:N型/P型;
⑯可装热场尺寸:18英寸;
17装料量: 70kg 。
优点利处
①应用领域:轻掺、重掺;
②腔体材质:内层:进口316L不锈钢,外层: 304L不锈钢;
③腔室洁净度:镜面精密抛光,适宜各重掺和轻掺的硅单晶生长;
④整机优异的刚性性能;
⑤运动部件引起的振动、冷却水湍流等方面的隔振技术;
⑥保护气体进气:1)水冷套内外各一路,
⑦ 2)副炉室顶部一路;
⑧应用高精度气体质量流量计+ 进口真空计 + 高精度蝶阀,气体质量流量计 :流量精度:± 0.2% F.S;控压精度: ± 0.5%;
⑨并联双罐在线自动切换,气体吹扫在线清理系统;
⑩进口称重传感器:精度在+/- 0.5kg 公斤以内;
⑪增加相机测温和调温功能(视觉直径测量、液位测量和温度测量);
⑫液面与导流筒的相对位置动态数据全程采集、记录;
⑬报警和安全保护:液面异常下降、抽空口温度异常、炉内压力异常、冷却水超温、功率故障等;
⑭在出现拉晶断棱回熔以及硅料复投等非正常拉晶工艺时,都可从系统中选择相应的自动工序来运行;
⑮恒拉速等径控制;
⑯引颈自动预热、熔接和调温;
⑰有自己的整机验证、热场和长晶工艺技术验证,有基础的热场和长晶工艺;
⑱CCz系统、及长晶工艺和控制技术,行业内领先;
⑲应用CCz技术,为某晶片厂商代工,指标优异;
⑳固体连续掺杂:红磷;
21晶体电阻率:Min:1mΩ*cm;(行业内一般为Min:2mΩ*cm)
交付周期
① 主设备预付款到账后 90天 (辅助设备、重要辅材类视市场情况而定)