参数特征
①型号:KX320-600;
②炉室直径:φ1300mm;
③下炉室高度:400mm;
④上炉室高度:1249mm;
⑤高温计端口位置:炉底盘上方836mm;
⑥下副室直径:φ650mm;
⑦下副室高度:2000mm;
⑧上副室直径:350mm;
⑨上副室高度:1200mm;
⑩旋片阀喉口直径:φ650mm;
⑪籽晶提升速度:0~508mm/hr;
⑫籽晶提升快速(标称):400mm/min;
⑬籽晶转速及精确值:0~30 RPM±1% S.P.or ±0.05RPM ,两者取其大;
⑭坩埚提升速度及精确值:0-127 mm/hr ± 1% S.P.or ± 0.25 mm/hr ,两者取其大;
⑮坩埚提升快速(标称):127mm/min;
⑯坩埚转速及精确值:0-20 RPM ± 1% S.P , or± 0.03 RPM ,两者取其大;
⑰取光口:可在副室顶部、炉盖上部、主炉室侧部配置取光口,标配CCD测温系统。
优点利处
①世界首台拉制24英寸晶体单晶炉;
②喉口直径650mm,最大可拉制600mm单晶硅棒;
③可配置内置石英筒加料器,实现一炉拉制多根晶棒;
④控制可实现快速收尾,配置水冷板,提高生产效率。
⑤可预留磁场升降机构安装空间。
交付周期
① 主设备预付款到账后 90天 (辅助设备、重要辅材类视市场情况而定)