参数特征
① 处理气量：≤600L/min（
② 在拉晶工况下，氩气净化后纯度可达99.999%
③ 其中氧含量≤1.5 ppm，含碳杂质≤1ppm
④ 单晶炉尾气回收管道（即压缩机进气之前的管道）压力要求：≤0.12MPa（绝对压力）
⑤ 装置在线率：≥95%
⑥ 氩气整体回收率≥90%
⑦ 装置检测要求：氧含量检测仪响应时间＜30s。
⑧ 装置泄漏率要求出厂检测
⑨ 正压检漏：压力 0.8Mpa
⑩ 装置正压泄漏率: ≤0.1 Mpa/10h
⑪ 在线监测：根据检测模块实时监测数值来判定设备氧含量，主设备设置检测阈值，当实时监测数值高出阈值，设备直接切出回收模式，并报警。
⑫ 加热模块使用寿命≥1年
⑬ 整机维护保养周期：设备整机质保1年
⑭ 循环水流量：≥5L/min
⑮ 频率：50±0.5Hz
⑯ 电压：380/220V
⑰ 额定功率＜55KW
⑱ 压缩空气压力：≥0.6MPa
⑲ 氨气压力打：≥0.5MPa
优点利处
① 6台单晶炉，氩气流量≈100L/min/台; 7台单晶炉，氩气流量≈80L/min/台
② 氩气净化纯度： ≥ 99.999%
③ 在拉晶工况下，氩气净化后纯度可达99.999% ，其中氧含量≤1.5 ppm，含碳杂质≤1ppm
④ 装置在线率： ≥ 95%
⑤ 氩气整体回收率：≥ 90%
⑥ 整机平均运行功耗≤12KW
