设计优点
① 单晶电磁场:适用于62、70、85、90、95、100等不同炉型4-6寸半导体级单晶硅生长,控制氧含量,提高硅棒横向电阻率均匀度,提高单晶品质,适用拉晶工艺实验阶段,磁场可根据工艺需要调整。
② 单晶永磁场:适用于62、70、85、90、95、100等不同炉型4-6寸半导体级单晶硅生长,提供水平磁场,抑制熔体对流,控制氧含量,提高硅棒横向电阻率均匀度,提高单晶品质,适用与工艺定型批量生产阶段,磁场恒定不变,无能耗。
③ 勾形磁场:适用于85以上大炉型8寸半导体级单晶生长,提供横向及纵向且均匀磁场,从三维方向抑制熔体对流,更有效的降低硅棒氧含量,提高均匀度,是内外最先进技术,恒流源设计,磁场稳定可调,采用IGBT控制安装方便,占地空间小
④ 超导磁场:适用8-12寸大晶棒芯片级单晶硅生长,目前属于开发阶段
带来利处
① 单晶硅棒横向电阻率均匀度提高10%以上
② 单晶硅棒氧含量可控制<14ppma
③ 晶体生长更稳定,不易出现生长条纹
合作伙伴
① 连城凯克斯科技有限公司
② 浙江中晶科技股份有限公司
③ 天津市环欧半导体材料技术有限公司
④ 宁夏中晶半导体材料有限公司
⑤ 内蒙古科晟科技有限公司
⑥ 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司
⑦ 四川高铭科技有限公司
⑧ 辽宁中电科半导体材料有限公司
⑨ 济南科盛电子有限公司
⑩ 陕西华山半导体材料责任有限公司
⑪ 浙江海纳半导体有限公司
⑫ 矽盛光电有限公司