参数特征
①型号：CSG-PC-110;
②尺寸：整机长×宽×高 = 4000×3400×4300mm;
③炉室内径：1100mm；
④装料量：50kg；
⑤极限真空度：10-2 Pa（分子泵启动后2h）；
⑥腔体压升率：≤10Pa/ h（煅烧后）；
⑦下炉盖升降行程：1500mm；
⑧加热方式：感应加热，
⑨炉内最高温度：2400℃；
⑩加热电源：2X40kW；
⑪测温方式：双色红外测温；
⑫测温范围：900-3000℃；
⑬控温精度：±1℃；
⑭控压范围：1-700mbar；
⑮控压精度：1-5mbar ±0.1mbar；
5-100mbar ±0.2mbar ；
100-700mbar ±0.5mbar；
⑯装料方式：下部装料;
⑰可选配置：双测温点，卸料叉车。
优点利处
①一次装料量大，可实现1台设备对多台长晶炉，提高生产效率；
②采用1拖2同频电源，可有效控制轴向温度梯度；
③顶、底均可配红外测温，便于温场监控和工艺调试；
④高真空、高控压精度、高控温精度，满足合成高纯碳化硅原料；
⑤采用下进下出的上下料方式，安全可靠，可配置卸料叉车；
⑥采用高精度蝶阀和质量流量计控制炉内压力，提供稳定的工艺气氛；
⑦设备可采用并排布置，节省空间，提高厂房利用率。
