参数特征
① 加工棒料直径: 100~220mm(4-8英寸)
② 加工碳化硅棒料长度50mm
③ 工作台最小进给量:0.005mm
④ 工作台最大行程:500mm
⑤ 磨架进给行程:150mm
⑥ 磨架最大进给量:1.5mm
⑦ 右磨头砂轮线速度:35mm/s
⑧ 左磨头转速:3485r/min
⑨ 弧面粗糙度: Ra≤0.63-1.0(根据砂轮目数)
⑩ OF宽度:±0.5mm
⑪ V NOTCH深度:1.00~+0.25mm
⑫ V角形状: 89°~94°
⑬ 晶向精度:<±15′
⑭ 椭圆度: ≤0.02mm/L30mm
⑮ 圆锥度: ≤0.03mm/L30mm
⑯ 设备外形尺寸:3600×1620×2150mm
⑰ 设备额定总功率:20KW
⑱ 设备自重:4.5t
设计优点
① 车头主轴旋转由C轴完成,采用2Kw伺服电机直接驱动控制旋转;左右磨头进给由X1、X2轴完成,左磨头升降由Y1轴完成,都采用伺服控制的结构;
② 工作台往复运动由Z轴完成,采用伺服电机+滚珠丝杆及平V导轨结构,精度高,刚性好。
③ 主要对晶体滚圆磨削,OF参考面磨削和V NOTCH磨削,能够在一次装夹下,实现晶体的滚圆和OF参考面磨削或者V NOTCH磨削的精度。
④ 自动化程度高,加工操作方便。
⑤ 采用液压油缸夹紧工件,装夹零件方便且稳定可靠,晶体中心高通过百分表人工校验偏差,可以确保磨削外圆尺寸可靠,更好的实现加工精度。
⑥ 机床为PLC控制+触摸屏,编程功能较强,操作简单易学,可满足用户对零件的加工需要
⑦ 机床同时配有定向仪,保证零件一次加工达到要求。
⑧ 可加工碳化硅4-8寸,碳化硅加工长度20-25mm;定向仪装在机床前面,X光管等不容易受水汽影响损坏;粗精两组合砂轮磨外圆效率高,精度好;
⑨ 主要部件机床床身和滑板全部用铸铁材料加时效处理,稳定性好。
带来利处
① 根据碳化硅晶棒大小不定制加工方案